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BORON 분석기

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BORON 분석기

반도체 제품의 Dimension이 지속적으로 작아지면서 반도체용 초순수에서 콜로이드성 실리카를 제거하는 문제가 매우 중요해졌습니다.
Sievers(시버스) UPW BORON 분석기는 초순수안에 있는 보론을 ppt 수준의 극미량까지 온라인으로 측정 및 분석 가능하도록 개발된 최초의 붕소 분석기입니다.

제조사: Veolia (Sievers)

온라인문의

✽ ICP-MS와 같은 ppt(part per trillion)수준의 감도

✽ 분석범위 0.015 ~ 20ppb

✽ EDI 및 이온교환수지에서의 실리카 용출 방지

✽ 보론 분석을 통해 MB의 효율적인 운영 및 MBP 유효 수명 연장

✽ 응용 분야 : 반도체 공정용 초순수 생산 시스템

담당 부서 : 환경기술사업부

(견적: 02-6190-9890｜소모품/기술지원 : 1544-8996)

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Veolia (Sievers)	BORON 분석기	제조사 : Veolia (Sievers) 제품명 : BORON 분석기 [Veolia] BORON 분석기 교육 자료	다운 보기
Veolia (Sievers)	BORON 분석기	제조사 : Veolia (Sievers) 제품명 : BORON 분석기 반도체,디스플레이 UPW 시스템의 TOC, Boron 및 파티클 관리	다운 보기

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FAQ

Q	제조사	제품명	제목
Q	Veolia (Sievers)	BORON 분석기	제조사 : Veolia (Sievers) 제품명 : BORON 분석기 시약 및 컬럼 교체 후 분석 중 분석 시간 Reset 됩니다.
A	Boron 분석기는 초정밀 장비로서 소모품 교체 후 최소 12시간 이상의 안정화 시간이 필요합니다. 시간이 흐른 후에도 분석기 되지 않는다면 아래 Step을 진행해주세요. ① 컬럼 상/하단에서 Leak가 발생하는지 확인합니다. ② Reagent Pump 앞면의 파란 Valve를 이용하여 15초간 Open과 Close를 10회 반복하여 시약을 교체하며 발생한 다량의 Air 제거를 진행합니다.(시약 교체 직후 진행하는 것이 가장 좋습니다) ③ 분석기 화면 우측 상단의 분석 시간이 몇 분에서 Reset 되는지 확인하여 문의합니다.
Q	Veolia (Sievers)	BORON 분석기	제조사 : Veolia (Sievers) 제품명 : BORON 분석기 2. 화면에는 데이터가 표시되는데 View – Boron 에는 과거 데이터만 남아있고 쌓이지 않습니다.
A	Boron 분석기의 Data Card 의 저장공간이 부족하여 데이터를 저장하지 못하는 상태입니다. ① STOP를 눌러 분석기의 분석을 멈춥니다.(대기 상태) ② Main 화면에서 SETUP – MAINTENANCE – DATA CARD – FRMAT 를 차례대로 눌러줍니다. ③ Format 이 끝나면 Next 를 눌러줍니다
Q	Veolia (Sievers)	BORON 분석기	제조사 : Veolia (Sievers) 제품명 : BORON 분석기 Reagent Pump 가 작동하지 않는 것 같은데, 작동 상태를 확인할 수 있는 기능이 있을까요 ?
A	① STOP를 눌러 분석기의 분석을 멈춥니다.(대기 상태) ② Main 화면에서 SETUP – ADVANCED – DIAGNOSTICS – PCB/FLUIDICS – PUMP MOTORS 를 차례대로 눌러줍니다. ③ 분석기 화면에 REAGENT PUMP : ON xx.0 으로 표시가 되어 있습니다. ON 상태에서 수치가 0으로 표시된다면 펌프가 작동하지 않는 것으로 확인할 수 있습니다. ④ 통상적으로 10.0~25.0 사이의 수치가 표시되며 5.0 수준의 수치가 표시된다면 펌프의 성능이 저하되어 교체 시기가 도래하였다고 확인할 수 있습니다.

매뉴얼

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Veolia (Sievers)	BORON 분석기	제조사 : Veolia (Sievers) 제품명 : BORON 분석기 [Veolia] BORON 분석기 국문 매뉴얼	다운 보기
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